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中微公司推出12英寸薄膜沉積設(shè)備Preforma Uniflex? CW
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中微推出12英寸薄膜沉積設(shè)備Preforma Uniflex? CW
- 中國(guó)上海，2023年5月9日—— 近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex? CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設(shè)備多年、在半導(dǎo)體薄膜沉積領(lǐng)域取得的新突破，也是實(shí)現(xiàn)公司業(yè)務(wù)多元化增長(zhǎng)的新動(dòng)能。 圖片注釋：中微公司12英寸低壓化學(xué)氣相沉積產(chǎn)品Preforma Uniflex? CW作為中微公司自主研發(fā)的產(chǎn)出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD設(shè)備，Preforma U
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